Efficient model for predictive MEMS microphone design: Model derivation and experimental verification

Oberndörfer, J.; Schrag, G.; Wachutka, G.

Dokumenttyp:: Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:: Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):: Oberndörfer, J.; Schrag, G.; Wachutka, G.
Titel:: Efficient model for predictive MEMS microphone design: Model derivation and experimental verification
Kongress- / Buchtitel:: Proceedings of the EUROSENSORS XXVI
Kongress / Zusatzinformationen:: EUROSENSORS 2012, September 9-12, Krakow, Poland
Verlag / Institution:: Elsevier
Verlagsort:: Amsterdam
Jahr:: 2012
Reviewed:: ja
Sprache:: en
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