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- Dokumenttyp:
- Patentanmeldung
- Patentanmeldung Nr.:
- WO 2011/092053A1
- Erfinder:
- Bodendorfer, T.; Hirth, F.
- Patentanmelder:
- Bodendorfer, T.; Hirth, F.
- Titel:
- Verfahren und Anordnung zum Messen der Dicke einer Schicht
- Datum der Patentanmeldung:
- 04.08.2011
- Veröffentlichungsdatum / Anmeldung:
- 04.08.2011
- Jahr:
- 2011
- Sprache:
- de
- Format:
- Text
BibTeX