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Original title:
Laserbasierte Bauteillagebestimmung bei der Montage optischer Mikrokomponenten
Translated title:
Laser Based Positioning of Micro-Mirrors during the Assembly of Hybrid Micro-Opto-Electromechanical Systems
Author:
Zeilinger, Tobias
Year:
2012
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
Fakultät für Maschinenwesen
Advisor:
Reinhart, Gunther (Prof. Dr.)
Referee:
Reinhart, Gunther (Prof. Dr.); Schmidt, Michael (Prof. Dr.)
Language:
de
Subject group:
MAS Maschinenbau
Keywords:
Mikromontage, Montageautomatisierung, Lasersensorik
Translated keywords:
Microassembly, Assembly Automation, Laser-Sensors
Abstract:
Im Rahmen der Arbeit wird mit der ‚Laserreflexiven Positionierung‘ eine Methode zur lasergestützten Bauteillageerkennung von Mikrokippspiegeln entwickelt und auf deren Basis ein Sensorsystem für den Einsatz in der Mikromontage aufgebaut. Die Methode ermöglicht die berührungslose, hochgenaue Positionierung dreh- und kippbarer Mikrospiegel in sechs räumlichen Freiheitsgraden bezüglich fügeferner Positionsreferenzen bei eingeschränkter optischer und taktiler Zugänglichkeit. Zur Validierung von Met...     »
Translated abstract:
The thesis introduces the ‚Laserreflective Positioning‘, a method for the laser based detection of micro-mirrors. The method allows a highly accurate, contact-free positioning of pan-mirrors in six degrees of freedom. The development of the method and the algorithms, which are used for the calculation of the mirror positions, are described. Then, the thesis documents the simulations that were used to investigate the theoretical positioning accuracy and time as well as the robustness of the desig...     »
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1099100
Date of submission:
05.04.2012
Oral examination:
10.10.2012
File size:
7368113 bytes
Pages:
219
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20121010-1099100-1-2
Last change:
16.01.2013
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