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Original title:
Reichweite- und Mischverteilungen niederenergetischer Kohlenstoffionen in tetraedrisch gebundenen, amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) 
Translated title:
Range and mixing distributions of low-energy carbon ions in tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) 
Year:
2004 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Physik 
Advisor:
Dollinger, Gerhard (Priv.-Doz. Dr.) 
Referee:
Dollinger, Gerhard (Priv.-Doz. Dr.); Koch, Frederick (Prof., Ph.D.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik; PHY Physik 
Keywords:
ta-C; Wachstumsmodelle; niederenergetische Ionen; Reichweiteverteilungen; Mischverteilungen; ERD; Tiefenprofile 
Translated keywords:
ta-C; growth modeling; low-energy ions; range distributions; mixing distributions; ERD; depth profiling 
Controlled terms:
Kohlenstoff; Amorpher Zustand; Dünne Schicht; Kohlenstoffion; Ionenbestrahlung; Reichweite 
TUM classification:
ELT 279d; PHY 649d 
Abstract:
Reichweite- und Mischverteilungen niederenergetischer Kohlenstoffionen in tetraedrisch gebundenen, amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) wurden mittels hochauflösender Elastic Recoil Detection (ERD) erstmalig gemessen. Die experimentellen Reichweiteprofile sind stark asymmetrisch und signifikant breiter als die Ergebnisse aus entsprechenden TRIM.SP- bzw. klassischen molekulardynamischen Berechnungen. Die gemessenen Mischverteilungen bestätigen die gemessenen Reichweiteverteilungen. Die Ergebnisse...    »
 
Translated abstract:
Range and mixing distributions of low-energy carbon ions in tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) are measured utilizing high-resolution elastic recoil detection (ERD). The experimental range profiles are asymmetric and significantly broader compared to respective results from TRIM.SP calculations as well as from classical molecular dynamics simulations. The measured mixing profiles approve the measured range profiles. The results from this work allow for a crucial test and further advanceme...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Date of submission:
07.01.2004 
Oral examination:
06.08.2004 
File size:
4265536 bytes 
Pages:
126 
Last change:
19.12.2007 
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