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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Scarpa, G. 
Titel:
Cutting edge technology at attocube systems AG 
Kongress- / Buchtitel:
Beitrag Kick-off meeting of IAS Focus Group “Nanoimprinting and Nanotransfer” 
Jahr:
2009 
Quartal:
4. Quartal 
Jahr / Monat:
2009-11 
Monat:
Nov