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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Reutter, T.; Schrag, G.
- Titel:
- Reliable Piezoelectric FEM-Simulations of MEMS Microphones: Basis for Intrinsic Stress Reduction"
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 193-196
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the Ninth IEEE Sensors Conference
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Nov. 1-4, 2010, Kona, Hawaii
- Jahr:
- 2010
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Format:
- Text
BibTeX