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- Autor(en):
- VEPREK, S; SAROTT, FA; RUCKSCHLOSS, M
- Titel:
- TEMPERATURE-DEPENDENCE OF THE CRYSTALLITE SIZE AND CRYSTALLINE FRACTION OF MICROCRYSTALLINE SILICON DEPOSITED FROM SILANE BY PLASMA CVD
- Zeitschriftentitel:
- JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS
- Jahr:
- 1991
- Band / Volume:
- 137
- Seitenangaben Beitrag:
- 733-736
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