Login
- Autor(en):
- RUHL, G; REHMET, R; KNIZOVA, M; al., et
- Titel:
- In situ XPS studies of the deposition of TiNxCy films from tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) and bis[N,N'-bis(tert-butyl)ethylenediamido]titanium(IV)
- Zeitschriftentitel:
- CHEMISTRY OF MATERIALS
- Jahr:
- 1996
- Band / Volume:
- 8
- Heft / Issue:
- 12
- Seitenangaben Beitrag:
- 2712-2720
BibTeX