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Autor(en):
VEPREK, S; VEPREKHEIJMAN, MGJ 
Titel:
OPEN QUESTIONS REGARDING THE MECHANISM OF PLASMA-INDUCED DEPOSITION OF SILICON 
Zeitschriftentitel:
PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING 
Jahr:
1991 
Band / Volume:
11 
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
323-334