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Autor(en):
PROKOP, J; ZYBILL, CE; VEPREK, S 
Titel:
nm-Co2Si, CoSi and CoSi2 silicide films from the single source precursor CoSiCl3(CO)(4) in the presence of SiH4 
Zeitschriftentitel:
THIN SOLID FILMS 
Jahr:
2000 
Band / Volume:
359 
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
39-45