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Autor(en):
KUNSTMANN, T; VEPREK, S 
Titel:
HETEROEPITAXY OF BETA-SIC FROM METHYLTRICHLOROSILANE AND METHYLTRIBROMOSILANE ON SI(100) WITHOUT A CARBON BUFFER LAYER 
Zeitschriftentitel:
APPLIED PHYSICS LETTERS 
Jahr:
1995 
Band / Volume:
67 
Heft / Issue:
21 
Seitenangaben Beitrag:
3126-3128