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- Autor(en):
- HEINTZE, M; VEPREK, S
- Titel:
- ROLE OF HIGHER SILANES IN THE PLASMA-INDUCED DEPOSITION OF AMORPHOUS-SILICON FROM SILANE
- Zeitschriftentitel:
- APPLIED PHYSICS LETTERS
- Jahr:
- 1989
- Band / Volume:
- 54
- Heft / Issue:
- 14
- Seitenangaben Beitrag:
- 1320-1322
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