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Autor(en):
HEINTZE, M; VEPREK, S 
Titel:
ROLE OF HIGHER SILANES IN THE PLASMA-INDUCED DEPOSITION OF AMORPHOUS-SILICON FROM SILANE 
Zeitschriftentitel:
APPLIED PHYSICS LETTERS 
Jahr:
1989 
Band / Volume:
54 
Heft / Issue:
14 
Seitenangaben Beitrag:
1320-1322