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Autor(en):
GIMZEWSKI, JK; VEPREK, S 
Titel:
A NOVEL METHOD FOR THE DETERMINATION OF THE ENERGIES OF IMPURITY IONS BOMBARDING A SOLID-SURFACE EXPOSED TO A LOW-PRESSURE PLASMA 
Zeitschriftentitel:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 
Jahr:
1984 
Band / Volume:
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
35-39