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Autor(en):
ENSSLEN, K; VEPREK, S
Titel:
MECHANISTIC STUDY OF GLOW-DISCHARGES TYPICAL OF DEPOSITION OF UC AND A-SI
Zeitschriftentitel:
HELVETICA PHYSICA ACTA
Jahr:
1984
Band / Volume:
57
Heft / Issue:
6
Seitenangaben Beitrag:
741-741
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