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Autor(en):
ENSSLEN, K; VEPREK, S 
Titel:
MECHANISTIC STUDY OF GLOW-DISCHARGES TYPICAL OF DEPOSITION OF UC AND A-SI 
Zeitschriftentitel:
HELVETICA PHYSICA ACTA 
Jahr:
1984 
Band / Volume:
57 
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
741-741