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Autor(en):
BRAUN, M; BREWER, R; STUESSI, H; al., et 
Titel:
DETERMINATION OF NONHOMOGENEOUS HIGH-CONCENTRATION DEPTH DISTRIBUTIONS USING ELASTIC BACKSCATTERING DATA 
Zeitschriftentitel:
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING 
Jahr:
1982 
Band / Volume:
28 
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
25-33