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Autor(en):
BOHME, W; KOHLER, WE; ROMHELD, M; al., et 
Titel:
OBSERVATION OF DUST PARTICLE GROWTH AND FALLOUT IN RF-EXCITED SILANE DISCHARGES 
Zeitschriftentitel:
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 
Jahr:
1994 
Band / Volume:
22 
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
110-115