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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Scarpa, G., et al.
- Titel:
- Pattern generation by using mutlistep room-temperature nanoimprint lithographie
- Kongress- / Buchtitel:
- IEEE Nano 2009, Session WE2_3: Terascale Nanoelectronics
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Genoa, Italy, July 26-3, 2009
- Jahr:
- 2009
- Quartal:
- 3. Quartal
- Jahr / Monat:
- 2009-07
- Monat:
- Jul
- Sprache:
- en
- Format:
- Text
BibTeX