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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Hirth, F.; Dudeck, S.; Jakobi, M.; Gerhard, D.; Koch, A.W.
- Titel:
- Thin film interferometer using a light source with spectrally non-equidistantly distributed sampling points
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the SPIE Europe Optical Metrology Conference
- Kongress / Zusatzinformationen:
- ICM-International Conference Centre Munich, 14.-18.06.2009, Munich, Germany
- Jahr:
- 2009
- Sprache:
- en
- Format:
- Text
BibTeX