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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz 
Autor(en):
Roth, S.; Ciemniak, C.; Coppi, C.; Feilitzsch, F.v.; Gütlein, A.; Isaila, C.; Lanfranchi, J.-C.; Pfister, S.; Potzel, W.; Westphal, W. 
Titel:
Properties of Tungsten Thin Films Produced with the RF-Sputtering Technique 
Zeitschriftentitel:
Journal of Low Temperature Physics 
Jahr:
2008 
Band / Volume:
151 
Heft / Issue:
1 -2 
Seitenangaben Beitrag:
216 -- 222 
Sprache:
en 
Format:
Text