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Original title:
CMOS-integrierte Feldemissionsspitzen 
Translated title:
CMOS-integrated Field Emitter Tips 
Year:
2009 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Prof. Dr.-Ing. Walter Hansch 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
Keywords:
feldemission field emitter current-stabilized stromstabilisiert 
Translated keywords:
feldemission field emitter current-stabilized stromstabilisiert 
Abstract:
Diese Dissertation behandelt die Möglichkeiten zur Stabilisierung von Feldemissionsströmen für zukünftige Anwendungen. Im Mittelpunkt steht die Integration von Siliziumspitzen in Feldeffekttransistoren, um die technologie- und umgebungsbedingten Schwankungen zu minimieren, denen der aus Spitzen emittierte Strom unterliegt. Neben ausführlichen theoretischen Grundlagen zur Thematik der Feldemission und einer Dokumentation des Stands der Technik bereiten Prozess- und elektrische Simulationen die pr...    »
 
Translated abstract:
This dissertation covers the possibilities to stabilize the field emission current for future applications. The focus is on the integration of Silicon Tips into Field Effect Transistors to minimize the fluctuations of the emitted current due to technology and operation conditions. Beside theoretical fundamentals of field emission and a documentation of the state of the art Simulations prepare the device realisation. Several wet and dry chemical etching techniques are used to create Silicon Tips...    »
 
Last change:
02.06.2009