Die Form von optisch rauen Oberflächen lässt sich mit Hilfe von lasergestützten Speckle-Interferometern berührungslos aus variabler Messdistanz selbst in schwer zugänglichen Regionen präzise vermessen. Im Rahmen dieser Arbeit wurde erstmals ein Mikrospiegelarray (MSA) in den Aufbau eines elektronischen Speckle-Muster-Interferometers integriert. Dank dieser adaptiven Optik ist es möglich, die Phasenfront der Referenzwelle variabel an messtechnisch kritische Oberflächenbereiche des Messobjekts anzupassen und somit die bisherigen Grenzen der Auflösbarkeit zu überwinden. Aufgrund der Struktur des MSA kommt es zu Beugungseffekten, die auf Phase und Intensität der Wellenfront wirken. Eine Simulation wurde erstellt, welche die komplexe Feldverteilung berechnet. Damit ist es erstmals möglich, die am MSA reflektierte Wellenfront in Phase und Intensität in Abhängigkeit von der Auslenkung einzelner Spiegelelemente zu modellieren und darzustellen.     «

Die Form von optisch rauen Oberflächen lässt sich mit Hilfe von lasergestützten Speckle-Interferometern berührungslos aus variabler Messdistanz selbst in schwer zugänglichen Regionen präzise vermessen. Im Rahmen dieser Arbeit wurde erstmals ein Mikrospiegelarray (MSA) in den Aufbau eines elektronischen Speckle-Muster-Interferometers integriert. Dank dieser adaptiven Optik ist es möglich, die Phasenfront der Referenzwelle variabel an messtechnisch kritische Oberflächenbereiche des Messobjekts anz...     »

By using laser-based Speckle-Interferometer, the shape of optically rough surfaces is precisely and contactlessly measured from variable measuring distances even in regions of difficult access. Within this work a Micro-Mirror-Array (MMA) was integrated into an electronic Speckle-Pattern-Interferometer for the first time. Thanks to the adaptive optics, it is possible to adapt the phasefront of the reference wave to critical surface areas of the measurement object. As a result of the MMA structure, diffraction effects are obtained which affect the phase and intensity of the wavefront. A simulation has been made which yields the complex field dispersion. Thereby it is possible for the first time to model and visualize the reflected wavefronts with respect to phase and intensity in dependence of the mirror deflection.     «

By using laser-based Speckle-Interferometer, the shape of optically rough surfaces is precisely and contactlessly measured from variable measuring distances even in regions of difficult access. Within this work a Micro-Mirror-Array (MMA) was integrated into an electronic Speckle-Pattern-Interferometer for the first time. Thanks to the adaptive optics, it is possible to adapt the phasefront of the reference wave to critical surface areas of the measurement object. As a result of the MMA structure...     »