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Original title:
Einsatz von Mikrospiegelarrays in der elektronischen Speckle-Muster-Interferometrie 
Translated title:
Using Micro-Mirror-Arrays in electronic Speckle-Pattern-Interferometry 
Year:
2009 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Koch, Alexander W. (Univ.-Prof. Dr.-Ing.) 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
Keywords:
Mikrospiegelarray, Speckle-Interferometrie, laser-unterstützte Formvermessung, Zwei-Wellenlängen-Technik, Phasenschieben, Beugung 
Translated keywords:
Micro-Mirror-Array, speckle interferometry, laser-based shape measurement, two-wavelength-technique, phase shifting, diffraction 
Abstract:
Die Form von optisch rauen Oberflächen lässt sich mit Hilfe von lasergestützten Speckle-Interferometern berührungslos aus variabler Messdistanz selbst in schwer zugänglichen Regionen präzise vermessen. Im Rahmen dieser Arbeit wurde erstmals ein Mikrospiegelarray (MSA) in den Aufbau eines elektronischen Speckle-Muster-Interferometers integriert. Dank dieser adaptiven Optik ist es möglich, die Phasenfront der Referenzwelle variabel an messtechnisch kritische Oberflächenbereiche des Messobjekts anz...    »
 
Translated abstract:
By using laser-based Speckle-Interferometer, the shape of optically rough surfaces is precisely and contactlessly measured from variable measuring distances even in regions of difficult access. Within this work a Micro-Mirror-Array (MMA) was integrated into an electronic Speckle-Pattern-Interferometer for the first time. Thanks to the adaptive optics, it is possible to adapt the phasefront of the reference wave to critical surface areas of the measurement object. As a result of the MMA structure...    »
 
Last change:
10.03.2009