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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Schrag, G.; Kuenzig, T.
- Titel:
- Towards High Fidelity Silicon Microphones: Evaluating the Potential of Industrial Microsystems Applying Tailored System-level Models
- Seitenangaben Beitrag:
- 6
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of 18th International Concerence on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Eurosime 2017
- Datum der Konferenz:
- April, 2 - 5, 2017
- Jahr:
- 2017
- Jahr / Monat:
- 2017-04
- Monat:
- Apr
- Seiten:
- 6
- Print-ISBN:
- 978-1-5090-4343-9
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Hinweise:
- IEEE Catalog Number: CFP17566-USB
BibTeX