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Originaltitel:
Structure and Erosion Behavior of Metal-doped Carbon Films 
Übersetzter Titel:
Struktur und Erosionsverhalten von metalldotierten Kohlenstoffschichten 
Jahr:
2008 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Maschinenwesen 
Betreuer:
Bolt, Hans-Harald (Prof. Dr. Dr.) 
Gutachter:
Werner, Ewald (Prof. Dr. habil. Dr. h.c.); Heiz, Ulrich K. (Prof. Dr.); Bolt, Hans-Harald (Prof. Dr. Dr.) 
Sprache:
en 
Fachgebiet:
PHY Physik; WER Werkstoffwissenschaften 
Schlagworte (SWD):
Kohlenstoff; Dotierung; Metall; Dünne Schicht; Abtragen; Fusionsplasma 
TU-Systematik:
NUC 573d; NUC 555d 
Kurzfassung:
The nanoscopic structure of metal-doped amorphous carbon films (a-C:Me) was investigated by various techniques (XAFS, XRD, TEM, XES, Raman), dependent on metal type (Ti, V, Zr, W), metal concentration (<15 %) and annealing temperature (up to 1300 K). The metal is in carbidic bonding state after deposition and generally distributed atomically disperse in the amorphous carbon matrix. Annealing leads to formation of nm-sized carbide crystallites. In as-deposited samples, an increased aromatic cluster size in the amorphous carbon phase was observed for doped samples. Erosion experiments of a-C:Me films revealed strongly reduced erosion yields compared to pure carbon. The erosion product distribution is shifted from higher hydrocarbons to more CD4 production. 
Übersetzte Kurzfassung:
Die nanoskopische Struktur von metalldotierten, amorphen Kohlenstoffschichten (a-C:Me) wurde untersucht in Abhängigkeit von Metalldotierung (Me=Ti, V, Zr, W), Metallkonzentration (<15 %) und Temperaturbehandlung (bis 1300 K). Dabei kamen verschiedene Analysemethoden (XAFS, XRD, TEM, XES, Raman) zum Einsatz. Nach der Abscheidung weist das Metall carbidischen Bindungscharakter auf und ist größtenteils atomar dispers in der Kohlenstoffmatrix verteilt. Anschließendes Tempern führt zur Bildung von mehreren Nanometer großen Carbidkristalliten. Im Vergleich zu undotiertem Kohlenstoff führt die Zugabe von Metallen während des Schichtwachstums zu größeren aromatischen Clustern in der amorphen Kohlenstoffmatrix. Die Anwesenheit von kleinen Metallmengen verringert die Kohlenstofferosion durch Deuteriumionen deutlich. Außerdem entsteht verstärkt CD4 als Erosionsprodukt. 
Mündliche Prüfung:
11.09.2008 
Seiten:
136 
Letzte Änderung:
15.10.2012