Diese Arbeit befasst sich mit den besonderen Eigenschaften des Materialsystems (AlGaIn)(AsSb) und seine Eignung für die Herstellung von langwelligen oberflächenemittierenden Lasern (VCSELn). Ziel ist die erste Realisierung eines elektrisch gepumpten GaSb-basierten VCSELs.
Ein besonderes Augenmerk wird auf die Materialeigenschaften wie Dotierbarkeit, Bandstruktur und Mischungslücken von (AlGaIn)(AsSb) gelegt. Weiterhin wird eine VCSEL-Struktur vorgestellt, die für den Einsatz bei großen Wellenlängen optimal ist. Die Herstellung mittels Molekularstahlepitaxie wird eingehend beschrieben.
Nach der Untersuchung von Teilen des Lasers werden Ergebnisse des fertigen Bauelementes vorgestellt. Obwohl kein Laserbetrieb erreicht wird, können für Teilbereiche internationale Bestmarken gesetzt werden. Durch das Auftreten resonanter Moden in der Elektrolumineszenz können Schlüsse für die Gestaltung zukünftiger Herstellungsprozesse gezogen werden.
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Diese Arbeit befasst sich mit den besonderen Eigenschaften des Materialsystems (AlGaIn)(AsSb) und seine Eignung für die Herstellung von langwelligen oberflächenemittierenden Lasern (VCSELn). Ziel ist die erste Realisierung eines elektrisch gepumpten GaSb-basierten VCSELs.
Ein besonderes Augenmerk wird auf die Materialeigenschaften wie Dotierbarkeit, Bandstruktur und Mischungslücken von (AlGaIn)(AsSb) gelegt. Weiterhin wird eine VCSEL-Struktur vorgestellt, die für den Einsatz bei großen Wellen... »
Translated abstract:
This thesis studies the special properties of the material system (AlGaIn)(AsSb) and its suitability for the fabrication of long-wavelength vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs). Goal of the work is the first realization of an electrically pumped GaSb-based VCSEL device.
A focus of the work is on the material properties like doping issues, band structure and miscibility gaps of (AlGaIn)(AsSb). Furthermore a VCSEL-design optimized for long-wavelength applications is proposed. The manufacturing process using molecular beam epitaxy is described in detail.
After investigation of parts of the device results of the complete laser structure are presented. Although no laser operation is achieved, international records can be claimed for several components of the device. By the appearance of resonant modes in the electroluminescence spectrum conclusions for further manufacturing processes can be drawn. «
This thesis studies the special properties of the material system (AlGaIn)(AsSb) and its suitability for the fabrication of long-wavelength vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs). Goal of the work is the first realization of an electrically pumped GaSb-based VCSEL device.
A focus of the work is on the material properties like doping issues, band structure and miscibility gaps of (AlGaIn)(AsSb). Furthermore a VCSEL-design optimized for long-wavelength applications is proposed. The ma... »