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Originaltitel:
Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen 
Übersetzter Titel:
Physically based Mixed-Level-Modelling of micro electromechanical systems 
Jahr:
2007 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Eisele, Ignaz (Prof.Dr.) 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik; PHY Physik 
Stichworte:
Modellierung, Squeeze-Film-Dämpfung, Mikrosysteme, Mixed-Level 
Übersetzte Stichworte:
modelling, squeeze-film-damping, MEMS, mixed-level 
Kurzfassung:
Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Ansätze und Methoden zur Modellierung von gekoppelten Effekten in Mikrosystemen auf Bauelemente- und Systemebene entwickelt. Im Mittelpunkt der Untersuchungen stehen hierbei die elektromechanische Kopplung und die Fluid-Struktur-Wechselwirkung mit einem Schwerpunkt auf der viskosen Dämpfung bei dynamisch betriebenen Mikrobauelementen. An typischen Demonstratoren werden Wege aufgezeigt, wie die Komplexität der Modelle, angepasst an die jeweilige Problemste...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
In this thesis, methods are developed which allow the modelling of coupled effects in Microsystems on continuous-field level as well as on system level. The investigations have been focussed on the electromechanical coupling and the fluid-structure interaction with an emphasis on viscous damping effects in dynamically operated microdevices and -systems. For typical demonstrators methods and approaches are derived to reduce the model complexity according to the given prerequisites in order to mod...    »
 
Mündliche Prüfung:
17.07.2007 
Seiten:
181 
Letzte Änderung:
21.08.2007