Ständige Verbesserungen der Produktion sind in der Halbleiterindustrie unverzichtbar. Ökonomische Aspekte der Fertigung sowie produktionstechnische Faktoren werden in Zukunft weiter steigende Bedeutung erlangen und stellen die Kernpunkte der Arbeit dar. Zunächst wird ein Effizienzmodell für die Halbleiterfertigung erstellt. Ausgehend von realen Fertigungsdaten wird darauf aufbauend ein Warteschlangenmodell entwickelt, mit dem die Auswirkungen von Änderungen produktionstechnischer Parameter auf die Effizienz berechnet werden. Mit den Betrachtungen gelingt es zukünftige Anforderungen an eine wirtschaftliche IC-Fertigung und den Beitrag der wichtigsten technischen Maßnahmen zur Effizienzsteigerung quantitativ anzugeben.     «

Ständige Verbesserungen der Produktion sind in der Halbleiterindustrie unverzichtbar. Ökonomische Aspekte der Fertigung sowie produktionstechnische Faktoren werden in Zukunft weiter steigende Bedeutung erlangen und stellen die Kernpunkte der Arbeit dar. Zunächst wird ein Effizienzmodell für die Halbleiterfertigung erstellt. Ausgehend von realen Fertigungsdaten wird darauf aufbauend ein Warteschlangenmodell entwickelt, mit dem die Auswirkungen von Änderungen produktionstechnischer Parameter auf d...     »

Continuous improvements of production are vitally important for the semiconductor industry. Economic aspects as well as factors concerning manufacturing science will get rising importance in the future and form the central points of this work. First an efficiency model for semiconductor manufacturing is created. Subsequently based on real production data a queuing model is developed to calculate the effects of varying manufacturing related parameters on the efficiency. This analysis makes it possible to determine future requirements for an economic IC production and to calculate the contribution of the most important technical parameters to an increase of efficiency.     «

Continuous improvements of production are vitally important for the semiconductor industry. Economic aspects as well as factors concerning manufacturing science will get rising importance in the future and form the central points of this work. First an efficiency model for semiconductor manufacturing is created. Subsequently based on real production data a queuing model is developed to calculate the effects of varying manufacturing related parameters on the efficiency. This analysis makes it pos...     »