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Originaltitel:
On line control of transparent inorganic layers deposited on polymeric substrate by phase modulated spectroscopic ellipsometry 
Übersetzter Titel:
Online-Kontrolle von transparenten anorganischen Schichten aufgetragen auf polymeren Substraten mit phasen-modulierter spektroskopischer Ellipsometrie 
Jahr:
2006 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät Wissenschaftszentrum Weihenstephan 
Betreuer:
Langowski, Horst-Christian (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Friedrich, Josef (Prof. Dr. Dr. habil.); Majschak, Jens-Peter (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Sprache:
en 
Fachgebiet:
CIT Chemie-Ingenieurwesen, Technische Chemie, Biotechnologie; LEB Lebensmitteltechnologie 
Stichworte:
transparent inorganic layers; silicon oxide; aluminium oxide; phase-modulated spectroscopic ellipsometry 
Übersetzte Stichworte:
transparente anorganische Schichten; Siliziumoxid; Aluminiumoxid; Phasenmodulierte spektroskopische Ellipsometrie 
TU-Systematik:
CIT 700d; LEB 150d 
Kurzfassung:
The aim of this research work was to evaluate a novel type of control equipment – a modified UV-VIS phase modulated spectroscopic ellipsometer – during the deposition of thin inorganic layers. It was shown that the ellipsometer is able to acquire information about the properties of the deposited layers during the process in some seconds’ tact. Moreover, a detailed analysis of the deposition process of the pilot-coater, especially concerning the spatial evaporation characteristic and the time res...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
Das Ziel dieser Arbeit war die Bewertung der Funktion eines UV-VIS-phasen modulierten spektroskopischen Ellipsometers als neuartiges Kontrollgerät für die Erfassung der Eigenschaften von aufgedampften anorganischen Schichten direkt im Produktionsprozess. Es wurde nachgewiesen, dass die elllipsometrischen Messungen im Gegensatz zu herkömmlichen Methoden in der Lage sind, innerhalb einer Bedampfungsanlage in Zeitabständen im Sekundenbereich Informationen über die Eigenschaften der aufgedampften Sc...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der Technischen Universität München 
Mündliche Prüfung:
05.04.2006 
Schlagworte:
Transparentfolie Aufdampfschicht Ellipsometer 
Dateigröße:
6966021 bytes 
Seiten:
124 
Letzte Änderung:
15.01.2008