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Original title:
YBCO-Dauerbeschichtung auf sehr großen Flächen 
Translated title:
Continuous YBCO deposition on very large area 
Year:
2003 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Physik 
Advisor:
Kinder, Helmut (Prof. Dr.) 
Referee:
Kinder, Helmut (Prof. Dr.); Gross, Rudolf (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik; PHY Physik 
Keywords:
YBCO; Ko-Verdampfen; Atom-Absorptions-Spektroskopie; Elektronenstrahlverdampfer 
Translated keywords:
YBCO; coevaporation; atomic absorption spectroscopy; electron beam evaporator 
Controlled terms:
Yttriumverbindungen; Bariumverbindungen; Cuprate; Hochtemperatursupraleiter; Beschichten; Kontinuierlicher Betrieb 
TUM classification:
PHY 716d; PHY 715d; ELT 279d 
Abstract:
In der Arbeit wird eine Apparatur zur kontinuierlichen Herstellung von YBCO-Dünnschichten beschrieben. Die Abscheidung erfolgt auf Substratplatten der Größe 10 x 20 cm, die während der Beschichtung durch den Aufdampfbereich bewegt werden. Das eingesetzte Beschichtungsverfahren ist das thermische Ko-Verdampfen, die Ratenregelung erfolgt durch Atom-Absorptions-Spektroskopie. Damit werden auf einer Substratfläche von 10 x 20 cm kritische Stromdichten von bis zu 3 MA/cm² mit einer Variation von maxi...    »
 
Translated abstract:
The thesis describes an apparatus for a continuous fabrication of YBCO thin films. The YBCO deposition is done on large substrate plates (10 x 20 cm) which are travelling through the deposition zone. We used thermal coevaporation by applying atomic absorption spectroscopy to control the specific evaporation rates. The critical current density on substrates of 10 x 20 cm size reach 3 MA/cm² with a variation smaller than 10 %. Additionally, with regard to industrial production where high depositio...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
20.08.2003 
File size:
2567396 bytes 
Pages:
78 
Last change:
20.08.2007