Benutzer: Gast  Login
Originaltitel:
Modellierung und Simulation elektromechanischer Instabilitäten bei Mikrobauteilen 
Übersetzter Titel:
Modelling and Simulation of Electromechanical Instabilities in Microdevices 
Jahr:
2005 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Rentrop, Peter (Prof. Dr. Dr. habil.) 
Format:
Text 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik 
Stichworte:
Mikrosysteme; gekoppelte Effekte; elektromechanische Instabilität; Snap-In; Pfadverfolgung; Multiparameterhomotopie 
Übersetzte Stichworte:
Microsystems; coupled effects; electromechanical instability; Snap-In; path continuation; multiparameter homotopy 
Kurzfassung:
Die vorliegende Arbeit behandelt die numerische Simulation elektromechanischer Instabilitäten bei mikromechanischen Bauteilen. Kernstück ist ein neuartiges Homotopieverfahren (Pfadverfolgungsverfahren) zur numerischen Simulation von Mikrobauelementen mit elektrostatischem Antrieb, mit dem sowohl stabile als auch instabile Arbeitsbereiche vollständig behandelt werden können, wie sie bei dieser Klasse von Mikrostrukturen typischerweise auftreten. Die entwickelte Pfadverfolgungsmethode kann nach Au...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
This thesis treats the numerical simulation of electromechanical instabilities in micromechanical devices. In its central part it constitutes a novel method in homotopy (path following method) for the numerical simulation of electrostatically driven microdevices. The resulting algorithm is able to fully simulate instabilities, which are inherent to this class of microelectromechanical structures. The newly developed algorithm can be controlled either by a single chosen parameter, or by multiple...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der Technischen Universität München 
Mündliche Prüfung:
29.08.2005 
Dateigröße:
2935314 bytes 
Seiten:
172 
Letzte Änderung:
25.06.2007