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Originaltitel:
Modelling and Diagnostics of Low Pressure Plasma Discharges 
Jahr:
2002 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof Dr.) 
Gutachter:
Brinkmann, Ralf-Peter (Prof Dr.); Awakowicz, Peter (Priv.-Doz. Dr. Dr. habil.) 
Format:
Text 
Sprache:
en 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik 
Stichworte:
Plasma; Modelling; Low-Pressure; Hydrodynamic; ICP; Langmuir Probe 
Übersetzte Stichworte:
Plasma; Modellierung; Niederdruck; Hydrodynamik; ICP; Langmuir Sonde 
Schlagworte (SWD):
Halbleiter; Niederdruckplasma; Niederdruckentladung; ICP; Hydrodynamik; Mathematisches Modell 
TU-Systematik:
ELT 270d 
Kurzfassung:
The presented thesis deals with various aspects of models for low pressure discharges. As well the theoretical background of hydrodynamic plasma models as the comparison of calculated data with experimental results are discussed. In the first part of this work hydrodynamic conservation equations are derived from the Boltzmann equation. Main focus is the application to low pressure plasmas. Different model systems for electrons and ions are presented. The question in which case simplified models...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
Niederdruck-Plasmaverfahren sind zum unverzichtbaren Bestandteil moderner Hochtechnologieprozesse geworden. Neben einer Vielzahl innovativer Anwendungen im Bereich Oberflächenbehandlung bzw. -veredelung sowie Beleuchtungstechnik ist vor allem der Einsatz von Niederdruckentladungen in der Fertigung von Halbleitern bzw. Flachbildschirmen von wirtschaftlicher Bedeutung. Typischerweise sind Plasmaverfahren bei der Herstellung einer modernen integrierten Schaltung an bis zu 50 Teilprozessschritten be...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München 
Mündliche Prüfung:
10.04.2002 
Dateigröße:
1575494 bytes 
Seiten:
133 
Letzte Änderung:
19.06.2007