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Original title:
Modelling and Diagnostics of Low Pressure Plasma Discharges 
Year:
2002 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Wachutka, Gerhard (Prof Dr.) 
Referee:
Brinkmann, Ralf-Peter (Prof Dr.); Awakowicz, Peter (Priv.-Doz. Dr. Dr. habil.) 
Format:
Text 
Language:
en 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
Keywords:
Plasma; Modelling; Low-Pressure; Hydrodynamic; ICP; Langmuir Probe 
Translated keywords:
Plasma; Modellierung; Niederdruck; Hydrodynamik; ICP; Langmuir Sonde 
Controlled terms:
Halbleiter; Niederdruckplasma; Niederdruckentladung; ICP; Hydrodynamik; Mathematisches Modell 
TUM classification:
ELT 270d 
Abstract:
The presented thesis deals with various aspects of models for low pressure discharges. As well the theoretical background of hydrodynamic plasma models as the comparison of calculated data with experimental results are discussed. In the first part of this work hydrodynamic conservation equations are derived from the Boltzmann equation. Main focus is the application to low pressure plasmas. Different model systems for electrons and ions are presented. The question in which case simplified models...    »
 
Translated abstract:
Niederdruck-Plasmaverfahren sind zum unverzichtbaren Bestandteil moderner Hochtechnologieprozesse geworden. Neben einer Vielzahl innovativer Anwendungen im Bereich Oberflächenbehandlung bzw. -veredelung sowie Beleuchtungstechnik ist vor allem der Einsatz von Niederdruckentladungen in der Fertigung von Halbleitern bzw. Flachbildschirmen von wirtschaftlicher Bedeutung. Typischerweise sind Plasmaverfahren bei der Herstellung einer modernen integrierten Schaltung an bis zu 50 Teilprozessschritten be...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
10.04.2002 
File size:
1575494 bytes 
Pages:
133 
Last change:
19.06.2007