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Original title:
Vergleichende Untersuchungen der Darstellung und Eigenschaften von superharten Nanokompositen dargestellt durch Plasma CVD und reaktive Zerstäubung 
Original subtitle:
Beschichtungen bestehend aus nc-TiN/a-Si3N4 im Vergleich 
Translated title:
Comparative characterization of the production and properties of superhard Nanocomposites poduced by plasma CVD and reactive sputtering 
Translated subtitle:
Coatings out of nc-TiN/a-Si3N4 in the comparison 
Year:
2003 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Chemie 
Advisor:
Veprek, Stan (Prof. Dr. Dr. h.c.) 
Referee:
Veprek, Stan (Prof. Dr. Dr. h.c.); Türler, Andreas (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
CHE Chemie; FER Fertigungstechnik; WER Werkstoffwissenschaften 
Keywords:
Sputtern; Nanokomposite; reaktive Zerstäubung; thermische Stabilität; CVD 
Translated keywords:
sputtern; nanocomposites; reactive sputtering; thermal stability; CVD 
Controlled terms:
Hartstoff; PECVD-Verfahren; Nanokomposit; Titannitrid; Siliciumnitrid; Temperaturbeständigkeit 
TUM classification:
WER 480d; WER 420d; CHE 380d; FER 882d 
Abstract:
Die oben genannte Arbeit beschäftigt sich mit der Darstellung und Charakterisierung von superharten Nanokompositen bestehend aus nc-TiN/a-nc-TiSix/a-Si3N4. Für die Darstellung der superharten Schichten wurde neben einem bestehenden P CVD (´Plasma Chemical Vapour Deposition´) Prozess zusätzlich eine Apparatur für reaktive Zerstäubung aufgebaut und verwendet. Die Charakterisierung erfolgte in chemischer sowie auch in physikalischer Hinsicht. Bei der chemischen Analyse wurde insbesondere der Einflu...    »
 
Translated abstract:
In the PHD-work named above is worked out the production and characterization of superhard nanocomposites out of nc-TiN/a-nc-TiSix/a-Si3N4. For the production of the superhard layers was beside an existing P CVD (´Plasma Chemical Vapor Deposition´) an equipment for reactive sputtering built and additionally used. The characterization took place in chemical as well as also in physical sense. With the chemical analysis, the influence of oxygen-impurities was especially examined in the layers for t...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
20.10.2003 
File size:
3743207 bytes 
Pages:
140 
Last change:
12.06.2007