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Original title:
Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen 
Translated title:
New concepts for silicon surface cleaning 
Year:
2003 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Chemie 
Advisor:
Schuster, Michael (Prof. Dr.) 
Referee:
Schuster, Michael (Prof. Dr.); Türler, Andreas (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
CHE Chemie 
Keywords:
Silicium; Siliciumoberfläche; Reinigung; RCA-Reinigung; Komplexbildner 
Translated keywords:
Silicon surface; cleaning; RCA-Cleaning; complexing agents 
Abstract:
In dieser Arbeit wurde eine modifizierte einstufige RCA-Reinigung entwickelt. Die Untersuchungen mit den besonders kritischen Metallen bei der Wafer- und Halbleiterbauelementherstellung Al, Ca, Fe, Ni und Zn zeigten deutliche Vorteile bei der Reinigung gegenüber herkömmlichen Methoden. Durch die Verwendung von Komplexbildnern konnte eine Abscheidung der Metalle auf die Siliciumoberfläche verhindert bzw. stark reduziert werden. Während bei den bekannten Reinigungsverfahren mehrere Schritte für ei...    »
 
Translated abstract:
In the submitted dissertation a modified single-step RCA-cleaning-process was developed. Investigations with the most critical metals for the production of wafers and semiconductor devices - Al, Ca, Fe, Ni and Zn - showed significant advantages in contrast to standard methods. By using complexing agents a surface contamination by the metals can be strongly reduced or completely avoided. While conventional cleaning methods need more than one step to achieve appropriate cleaning results, the prese...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
29.01.2003 
File size:
1111983 bytes 
Pages:
142 
Last change:
12.06.2007