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Originaltitel:
Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen 
Übersetzter Titel:
New concepts for silicon surface cleaning 
Jahr:
2003 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Chemie 
Betreuer:
Schuster, Michael (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Schuster, Michael (Prof. Dr.); Türler, Andreas (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
CHE Chemie 
Stichworte:
Silicium; Siliciumoberfläche; Reinigung; RCA-Reinigung; Komplexbildner 
Übersetzte Stichworte:
Silicon surface; cleaning; RCA-Cleaning; complexing agents 
Kurzfassung:
In dieser Arbeit wurde eine modifizierte einstufige RCA-Reinigung entwickelt. Die Untersuchungen mit den besonders kritischen Metallen bei der Wafer- und Halbleiterbauelementherstellung Al, Ca, Fe, Ni und Zn zeigten deutliche Vorteile bei der Reinigung gegenüber herkömmlichen Methoden. Durch die Verwendung von Komplexbildnern konnte eine Abscheidung der Metalle auf die Siliciumoberfläche verhindert bzw. stark reduziert werden. Während bei den bekannten Reinigungsverfahren mehrere Schritte für ei...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
In the submitted dissertation a modified single-step RCA-cleaning-process was developed. Investigations with the most critical metals for the production of wafers and semiconductor devices - Al, Ca, Fe, Ni and Zn - showed significant advantages in contrast to standard methods. By using complexing agents a surface contamination by the metals can be strongly reduced or completely avoided. While conventional cleaning methods need more than one step to achieve appropriate cleaning results, the prese...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München 
Mündliche Prüfung:
29.01.2003 
Dateigröße:
1111983 bytes 
Seiten:
142 
Letzte Änderung:
12.06.2007