Bayesian Machine Learning for Efficient Minimization of Defects in ALD Passivation Layers

Dokumenttyp:: Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):: Dogan, Gül; Demir, Sinan O.; Gutzler, Rico; Gruhn, Herbert; Dayan, Cem B.; Sanli, Umut T.; Silber, Christian; Culha, Utku; Sitti, Metin; Schütz, Gisela; Grévent, Corinne; Keskinbora, Kahraman
Titel:: Bayesian Machine Learning for Efficient Minimization of Defects in ALD Passivation Layers
Zeitschriftentitel:: ACS Applied Materials & Interfaces
Jahr:: 2021
Band / Volume:: 13
Heft / Issue:: 45
Seitenangaben Beitrag:: 54503-54515
Volltext / DOI:: doi:10.1021/acsami.1c14586
WWW:: https://doi.org/10.1021/acsami.1c14586
Hinweise:: PMID: 34735111
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