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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Ashour, M.; Weig, E.M.; Caspers, J.N.
- Titel:
- FEM-Abschätzung für die Stabilität eines opto-mechanischen Phasenschiebers
- Kongress- / Buchtitel:
- MikroSystemTechnik Kongress , P9.7 P9 Entwurfsmethoden und Simulationen
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Berlin, Germany, 28-30 Oct 2019-10
- Verlag / Institution:
- Verein Deutscher Ingenieure VDI
- Jahr:
- 2019
- Jahr / Monat:
- 2019-10
- Monat:
- Oct
- Sprache:
- de
- WWW:
- https://www.vde-verlag.de/buecher/ivz/9783800750900_INHALT_01.pdf
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