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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Schrag, G.; Reutter, T.; Wachutka, G.
- Titel:
- Finite Element Simulations Combined with Statistical Analysis of Variance: Exploring the Potential of Piezoelectric MEMS Microphones
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 1452-1455
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the 17th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems
- Kongress / Zusatzinformationen:
- TRANSDUCERS 16-20 June, 2013, Barcelona, Spain
- Verlag / Institution:
- IEEE
- Jahr:
- 2013
- Sprache:
- en
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