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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Stelzer, Max; Jung, Moritz; Wurstbauer, Ursula; Holleitner, Alexander; Kreupl, Franz
Titel:
Highly Reliable Contacts to Silicon Enabled by Low Temperature Sputtered Graphenic Carbon
Zeitschriftentitel:
IEEE Journal of the Electron Devices Society
Jahr:
2019
Band / Volume:
7
Seitenangaben Beitrag:
252-260
Volltext / DOI:
doi:10.1109/jeds.2019.2894975
Verlag / Institution:
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
E-ISSN:
2168-6734
Publikationsdatum:
01.01.2019
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