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- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Bosetti, Gabriele; Manz, Johannes; Krumbein, Ulrich; Schrag, Gabriele
- Titel:
- Reliable Compact Models for the Investigation of Acoustic High-Frequency Effects in MEMS Transducers
- Zeitschriftentitel:
- Proceedings
- Jahr:
- 2018
- Band / Volume:
- 2
- Heft / Issue:
- 13
- Seitenangaben Beitrag:
- 1024
- Volltext / DOI:
- doi:10.3390/proceedings2131024
- Verlag / Institution:
- MDPI AG
- E-ISSN:
- 2504-3900
- Publikationsdatum:
- 13.11.2018
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