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Document type:
Konferenzbeitrag 
Contribution type:
Vortrag / Präsentation 
Author(s):
Manz J., Schrag G., Dehe A., Krumbein U., Wachutka G. 
Title:
Modellierung eines neuartigen Kamm-Mikrofons mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis 
Book / Congress title:
Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017 
Congress (additional information):
München, Deutschland 
Date of congress:
23.-25. Oktober 2017 
Year:
2017 
Year / month:
2017-10 
Month:
Oct 
Language:
de 
TUM Institution:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik 
Ingested:
23.10.2018