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Document type:
Report / Forschungsbericht 
Author(s):
Franz Kreupl 
Title:
WireControl : Teilprojekt CNT-CONTROL : Prozesstechnologien für die Halbleiter-Nanodraht-basierte Sensorik mit hohem Durchsatz : Schlussbericht für das BMBF Forschungsvorhaben 
Subtitle:
Prozesstechnologien für die Halbleiter-Nanodraht-basierte Sensorik mit hohem Durchsatz 
Contracting organization:
BMBF 
Publisher address:
Technischen lnformationsbibliothek (TIB), Welfengarten 1 B in 30167 Hannover 
Date of publication:
29.08.2017 
Year:
2017 
Pages:
41 
Covered by:
Scopus 
Language:
de 
TUM Institution:
Hybride Elektronische Systeme