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Dokumenttyp:
Report / Forschungsbericht
Autor(en):
Franz Kreupl
Titel:
WireControl : Teilprojekt CNT-CONTROL : Prozesstechnologien für die Halbleiter-Nanodraht-basierte Sensorik mit hohem Durchsatz : Schlussbericht für das BMBF Forschungsvorhaben
Titelzusatz:
Prozesstechnologien für die Halbleiter-Nanodraht-basierte Sensorik mit hohem Durchsatz
Beauftragende Einrichtung:
BMBF
Verlagsort:
Technischen lnformationsbibliothek (TIB), Welfengarten 1 B in 30167 Hannover
Publikationsdatum:
29.08.2017
Jahr:
2017
Seiten/Umfang:
41
Nachgewiesen in:
Scopus
Sprache:
de
TUM Einrichtung:
Hybride Elektronische Systeme
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