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Original title:
Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers 
Translated title:
Microfabrication and Microassembly for the Manufacturing of a Piezoelectrically Driven Microdrop Generator 
Year:
2016 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Maschinenwesen 
Advisor:
Lüth, Tim Christian (Prof. Dr.) 
Referee:
Lüth, Tim Christian (Prof. Dr.); Schwesinger, Norbert (Prof. Dr.) 
Language:
de 
Subject group:
FER Fertigungstechnik 
Keywords:
Mikrofertigung, Mikromontage, Mikrosystemtechnik, Mikrotropfenerzeuger 
Translated keywords:
microfabrication, microassembly, MEMS, microdroplet generation 
TUM classification:
MED 370d 
Abstract:
In vorliegender Arbeit werden Methoden für die kostengünstige und schnelle Herstellung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die Laserbearbeitung als auch für das Trennschleifen die notwendigen Fertigungsparameter abgeleitet. Die Montage von Funktionskomponenten wird über einen neu entwickelten Mikromontageplatz mit Klebstoffauftragswerkzeug realisiert. In weniger als 10 Stunden können mit den vorgestellten Verfa...    »
 
Translated abstract:
This work describes methods for the manufacturing process of function models for the microtechnology in a time- and cost-saving manner. For the microstructuring operations of substrates the manufacturing parameters of laser beam micromachining as well as of cut off grinding using a dicing saw are optimized. The microassembly of functional materials is successfully realized by developing a new manual microassembly system with an application tool for adhesive layers. By using the described techniq...    »
 
Oral examination:
20.10.2016 
File size:
4869313 bytes 
Pages:
142 
Last change:
17.11.2016