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Autor(en):
Iivonen, Tomi; Hämäläinen, Jani; Marchand, Benoît; Mizohata, Kenichiro; Mattinen, Miika; Popov, Georgi; Kim, Jiyeon; Fischer, Roland A.; Leskelä, Markku 
Titel:
Low-temperature atomic layer deposition of copper(II) oxide thin films 
Zeitschriftentitel:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 
Jahr:
2016 
Band / Volume:
34 
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
01A109 
Verlag / Institution:
American Vacuum Society 
E-ISSN:
0734-21011520-8559 
Publikationsdatum:
01.01.2016