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Hommel_2016
Autor(en):
Hommel, S.; Killat, N.; Altes, A.; Schweinboeck, T.; Schmitt-Landsiedel, D.; Silvestri, M.; Haeberlen, O.
Titel:
{S}canning {M}icrowave {M}icroscopy for {E}lectronic {D}evice {A}nalysis on {N}anometre {S}cale
Zeitschriftentitel:
Microelectronics Reliability
Jahr:
2016
Band / Volume:
64
Monat:
sep
Volltext / DOI:
http://doi.org/10.1016/j.microrel.2016.07.134
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Vorkommen:
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