In this work, the design and the manufacturing of vertical-cavity surface-emitting lasers for various emission wavelengths is discussed. The main focus is at InP-based material systems addressing the 1.3 to 2.3 µm emission range. The new key-technologies including the short-cavity concept and the surface-micro-machining technology offer device performances of the electrically pumped VCSEL structures with world record values in highpower, highspeed and continuous wavelength tuning.
Übersetzte Kurzfassung:
Das Thema dieser Arbeit ist das Design und die Herstellung von weit abstimmbaren Vertikalresonator Laserdioden für verschiedene Emissionswellenlängen. Der Fokus liegt schwerpunktmäßig auf dem InP-basierten Materialsystem welches einen Spektralbereich zwischen 1.3 und 2.3 µm bedient. Die neuartigen Schlüsseltechnologien wie das Short-Cavity Konzept und die Surface-Micro-Machining Technologie ermöglichen Weltrekordwerte in Ausgangsleistung, Modulation und kontinuierlicher Wellenlängenabstimmung.
Serie / Reihe:
Ausgewählte Probleme der Halbleiterphysik und Technologie
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