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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Tremmel, A.J.; Rauscher, M.S.; Murr, P.J.; Schardt, M.; Koch, A.W.
- Titel:
- Reflektometrische hyperspektrale Dünnschichtmessung
- Kongress- / Buchtitel:
- XXIX. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik (AHMT), Ilmenau, Deutschland, 16.-18.09.2015, S. 99-106
- Verlag / Institution:
- DE GRUYTER
- Verlagsort:
- Oldenburg
- Jahr:
- 2015
- Jahr / Monat:
- 2015-09
- Monat:
- Sep
- Print-ISBN:
- ISBN 978-3-11-040852-2
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- de
- Erscheinungsform:
- Volltext / DOI:
- doi:doi: 10.1515/9783110408539-013
- WWW:
- http://www.degruyter.com/view/product/449349?rskey=LlZSbX&result=1
- Semester:
- SS 15
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
- Format:
- Text
BibTeX