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Original title:
Piezoelektrische Mikromembranaktoren mit einseitiger elektrischer Ansteuerung 
Translated title:
Piezoelectric micro membrane actuators driven by interdigitated surface electrodes 
Year:
2017 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Schwesinger, Norbert (Prof. Dr.) 
Referee:
Schwesinger, Norbert (Prof. Dr.); Schlaak, Helmut F. (Prof. Dr.) 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
TUM classification:
ELT 066d 
Abstract:
In dieser Dissertation wird ein piezoelektrischer Mikromembranaktor, der über interdigitale Oberflächenelektroden gesteuert wird, entwickelt. Dieser besteht aus der piezoelektrischen Hochleistungskeramik PZT (Bleizirkonattitanat). PZT-Membranen mit Radien von 1 mm bis 3,5 mm und Dicken von 0,1 mm bis 0,25 mm werden über interdigital angeordnete Oberflächenelektroden derart angesteuert, dass sie sich zu einer Seite hin verwölben. Über das Elektrodenlayout und die mechanische Randeinspannung, läss...    »
 
Translated abstract:
In this thesis a piezoelectric micro membrane actuator, which is driven by interdigitated surface electrodes, is developed. It consists of the piezoelectric high performance ceramic PZT (lead zirconate titanate). PZT membranes with a varying radius of 1 mm to 3.5 mm and a varying thickness from 0.1 mm to 0.25 mm are actuated by interdigitated surface electrodes in such a way, that the membrane will deform out of its planar state. The direction of the deflection can be influenced by the electrode...    »
 
ISBN:
978-3-8439-3421-3 
Oral examination:
27.02.2017 
Last change:
12.01.2018