Benutzer: Gast  Login
Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Künzig, T.; Schrag, G.; Dehe, A.; Wachutka, G. 
Titel:
Performance and Noise Analysis of Capacitive Silicon Microphones Using Tailored System-Level Simulation 
Seitenangaben Beitrag:
2192-2195 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the 18th Int. Conf. on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems 
Konferenzort:
Anchorage, Alaska, USA 
Datum der Konferenz:
June 21-25 
Jahr:
2015