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Document type:
Patent 
Patent number:
Deutsches Patent DE 10 2013 101432 A1 
Inventor:
Müller, M.S.; Buck, T.C. 
Assignee:
Müller, M.S.; Buck, T.C. 
Title:
Faseroptischer Beschleunigungssensor mit Hebel 
Patent office:
DE 
Date of application:
13.02.2013 
Publication date patent:
14.08.2014 
Year:
2014 
Language:
de 
TUM Institution:
Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik 
Format:
Text